随着现代科技的发展,人们对工业用水提出的要求越来越高。电子工业用水、电厂发电锅炉用水、医疗及制药工业用水、以及实验室高精密度仪器分析用水等均对水质有极其严格的要求, 其中电子芯片清洗水水质要求已经接近于理论纯水的指标。

电子行业用超纯水设备采用多介质过滤器、活性炭过滤器作及保安过滤器作为前级处理的设计，有效除去原水中的悬浮物、泥砂、微粒、有机硅胶体、有机物、异味、余氯等杂质，使经过离子交换处理后的水质符合工业生产要求。在经过后端进行精处理系统(混床系统)，使其产水水质满足生产用水的要求.

电子行业用超纯水设备通常由多介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、真正做到了无人值守。

水处理行业传统的高纯水生产技术都必须采用反渗透+混床离子交换法, 这种配置的超纯水设备操作复杂、酸碱污染、产水成本高。现在都采用更先进的edi来取代混床离子交换树脂, 不仅提高了对水中各种强杂质的脱除率, 而且对产品水中的弱电解质具有较强的去除能力。 这种配置能够连续稳定地制取高品质产水, 产水脱盐率大于99.9%，产水电阻率在1MΩ.cm—18MΩ。

电子行业用超纯水设备的预处理系统通常包括石英砂过滤器，活性炭过滤器及软化器过滤系统，预处理的作用主要是去除水中的悬浮物、泥砂、微粒、有机硅胶体、有机物、异味、余氯等杂质，以确保进水要求，减少工作时产生垢物和藻类生长及微生物污染及氧化剂。

1：高效节能，因为反渗透技术结合高效臭氧消毒方法，整个系统工作于常温、低压状态，设备投资省，运行维护费用低，可靠节能：膜处理法的运行成本仅为蒸馏方法的12-15%，非常经济，极具竞争力。

2：稳定可靠。采用膜法工艺及多介质过滤器进行预处理;反渗透膜的微孔透过式工作原理保证了去除水体中所有较大的离子、分子，可以轻松去除分子直径更大的易挥发有机污染物质。

电子行业用超纯水设备的制水工艺：

1：采用离子交换方式：原水→原水泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床（复床）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点。

2：采用反渗透水处理设备与离子交换方式为：原水→原水泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→混床（复床）→超纯水箱→超纯水泵→后置精密过滤器→用水点。

3：采用反渗透EDI方式工艺为：原水→原水泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→电去离子（EDI）→超纯水箱→超纯水泵→后置紧密过滤器→用水点。

电子行业用超纯水设备各主要部件的作用

原水泵：

解决原水水压力不稳定，满足预处理进水压力恒定，流量充足，确保RO系统正常运行。

石英砂过滤器：

石英砂过滤器是玻璃钢材质的压力式过滤容器，耐压 6kg/cm2，是一种先进的微絮凝过滤方式，罐内填装高耐磨精制石英砂，可拦截原水残留少量细小的泥沙、杂质、胶状物体、悬浮物等藻类可见物，对原水中的浊度、色度起到降低作用，滤除不溶于水中的（氧化物、浊度、颗粒物等）杂质，特别是在降低原水中的浊度、污染指数等方面具有很好的效果。

活性炭过滤器：

活性炭过滤器是玻璃钢材质的压力式过滤容器，耐压 6kg/cm2，内装净水专用颗粒碳，用于吸附水中色素、有机物、余氯、异味、沉积的重金属离子、去除由铁、脱氯、使余氯含量≤1PPM。是水深度处理中不可缺少的材质。

去色：可去除原水中由铁、锰及植物分解的有机污染物所形成的色度。

去除有机物：可去除原水中微量污染物，如农药，杀虫剂，氯化烃，芳香族化合物，以及BOD 与 COD 等。

去除有机氯：可去除原在自来水出厂前投加预氧化剂和消毒剂（如氯气）所产的 THMS 等“三致”物质及余氯所造成的嗅味。

去除氨氮和亚硝酸盐：活性炭可有效去除氨氮、亚硝酸盐、余氯或氧化剂：保护反渗透膜。

除臭：去除水中的微量重金属离子（如汞、铬等离子），合成洗涤剂及放射性物质等。

精密过滤器：

精密过滤器外壳为不锈钢材质，内装过滤精度5us的溶喷PP棉、可拦截预处理流入的杂质、防止原水内的颗粒物在高流速下穿刺或划伤RO反渗透膜表面的脱盐层及过早堵塞、保证进入RO膜的水干净清澈、延长RO膜的寿命。

高压泵的作用：

高压泵采用立式多级特种离心泵，为反渗透系统提供恒定的动力，高德软水器 确保压力稳定，流量充足，保证反渗透系统的正常运行，高压泵进水口前装有水位压力保护装置，当进水压力异常时高压泵停止运行，以免干转烧坏高压泵。

RO反渗透系统

通过高压泵对过原水施加大于渗透压的压力，利用 RO 膜的分离技术，有效分离出原水中大于 200 的几乎包括所有颗粒、胶体、有机杂质、微生物等有害物及 99%的溶解盐，达到脱盐纯化的目的，使纯水电导率≤10us,(原水质≤300us)。

反渗透技术制纯水与传统的离子交换、蒸馏技术制纯水相比，有设备体积小、高德平台 能耗低、适应性强、无需酸碱再生剂、工艺简单、易实现自动化、产水质量优良、水质稳定、无微生物、无重金属离子、无有机化合物等优点。排放的浓水对环境无害，是一项符合环保要求的分离技术。

EDI系统：

EDI（Electrodeionization）又称连续电除盐技术，是将电渗析技术和离子交换技术融为一体，通过阳、阴离子膜对阳、阴离子的选择透过作用以及离子交换树脂对水中离子的交换作用，在电场的作用下实现水中离子的定向迁移，从而达到水的深度净化除盐，并通过水电解产生的氢离子和氢氧根离子对装填树脂进行连续再生，EDI与传统的离子交换相比较，EDI在制水过程不需酸、碱化学药品再生即可连续制取高品质超纯水，它具有技术先进、出水水质稳定、结构紧凑、操作简便等优点。

电子行业用超纯水设备已广泛应用于：电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、钢铁、玻璃清洗用水、半导体工业、精细化工、光学、医药用水、透析医疗用水。等领域。